洁净室中保持室内正压有几种方法。({646a3efd1ca33})余压阀的安装：即安装在洁净室下风侧的墙壁7上。余压阀的开度被预先调节以保持室内正压值，正压值通过余压阀的打开和关闭来调节。使用余压阀时，要注意长期使用后关闭不严密。
(3)室内停机值由安装在回风口或支风管上的分体式多叶调节阀维持。这种方法简单方便，但精度不如余压阀高。
(4)在回风口安装空气阻尼层。阻尼层的材料为尼龙纱线、尼龙网(100目)、浸泡在碱性溶液中的中细孔泡沫塑料、无纺布等。即通过逐渐增加回风阻尼层的阻力来增加室内正压。
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